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简要描述:日本Atec爱泰克洁净室兼容 PVP10B型系列PVP10BP[D]-SJ[D]S是一种无接触式磁悬浮传送系统,专为洁净室环境设计,适用于半导体、液晶面板、光伏电池等对洁净度要求严苛的行业。其核心是通过电磁力驱动载物平台(Plane)实现无摩擦、无尘的物料传输。通过选择多种塑料材料,可以减少对工件表面的损伤,并可根据条件调整运输和定位,它比使用支撑塑料销的传统定位方法更轻,并且产生的灰尘更少。
深圳纳加霍里科技专业代理销售日本Atec爱泰克洁净室兼容 PVP10B型系列PVP10BP[D]-SJ[D]S 产品特点如下:
日本Atec爱泰克洁净室兼容 PVP10B型系列PVP10BP[D]-SJ[D]S 是一种无接触式磁悬浮传送系统,专为洁净室环境设计,适用于半导体、液晶面板、光伏电池等对洁净度要求严苛的行业。其核心是通过电磁力驱动载物平台(Plane)实现无摩擦、无尘的物料传输。
通过选择多种塑料材料,可以减少对工件表面的损伤,并可根据条件调整运输和定位,它比使用支撑塑料销的传统定位方法更轻,并且产生的灰尘更少。
洁净室中使用的平面传送器。可根据制造过程中的各种使用环境(耐磨、耐热、防静电、真空环境等)选择各部件的材料。
从组装到包装,我们都在洁净棚和洁净工作台上进行工作。对每个部件进行脱脂并用纯水清洗,以尽可能去除加工过程中粘附在球表面的树脂粉末。
标准平面载物台,可选配真空吸附功能(用于固定晶圆或玻璃基板),直线型轨道,驱动模块(Drive)集成,不锈钢材质(Stainless Steel),符合洁净室防锈要求。
核心技术特点
磁悬浮驱动:
通过线性电机技术实现非接触式传送,避免传统皮带/滚轮产生的微粒污染。
载物平台与轨道无物理接触,减少磨损和维护需求。
洁净室兼容:
符合ISO Class 1-5级洁净标准(取决于配置)。
材质采用不锈钢或阳极氧化铝,表面光滑易清洁。
高精度定位:
重复定位精度可达±0.01mm,适用于精密制造流程。
模块化设计:
轨道可自由拼接扩展(直线/曲线),适应不同布局需求。
支持多载物平独立立控制,提升传输效率。
典型应用场景
半导体制造:晶圆传送、光刻机上下料。
FPD行业:液晶面板、OLED基板运输。
光伏产业:硅片无尘输送。
生物医药:无菌环境下试剂瓶或器械搬运。
可选配置与定制
真空吸附:防止薄型基板在高速移动中偏移。
FFU(风机过滤单元):集成局部洁净气流。
防静电处理:避免静电敏感器件损坏。
通信接口:支持SECS/GEM、EtherCAT等工业协议。
优势总结
污染:无摩擦、无润滑剂,适合超净环境。
低维护:无机械接触部件,寿命长。
灵活布局:模块化设计适应复杂产线。
节能高效:比传统传送系统能耗更低。
规格
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