日本MEG对齐单元

深圳纳加霍里科技专业代理销售日本MEG对齐单元X9113-C 产品特点如下：

日本MEG对齐单元X9113-C用于精密机械/光学设备的定位校准（如半导体设备、显微镜等），具备高精度位移控制（微米/纳米级）或角度调整功能。

特长小型铆接型机身口30mm凝聚铆接所需的功能，紧凑节省空间，高速运行，备有带马达型号、外部驱动型号，此外，还可以选择主体安装方式和鳍片形状等。

扭力类型长冲程可对应广泛用途，备有带马达型号、外部驱动型号，小型缓冲类型主体□30mm浓缩缓冲必要的功能，紧凑节省空间，高速运行，备有带马达型号、外部驱动型号，此外，还可以选择主体安装方式和鳍片形状等，缓冲类型长冲程，适用于各种用途，备有带马达型号、外部驱动型号。

备有本体安装部形状、指状物形状、驱动方式等多种种类，提供多种驱动方式可供选择。

不能改变指状物的数量，冲程可以根据脉冲数而改变，（带电机的型号）5速度可通过运行频率、加减速时间的设定进行变更（马达型号）。

在狭小空间也能发挥高精度定位的定位单元和开发的小型对准单元，控制身体宽度的苦心设计，即使在小冲程输送的狭小空间内也能实现精确的工件定位。

小型指状物配置于机身顶部，本体安装，利用本体背面的M2抽头。

小型A型I指状物配置在机身上面，主体安装从主体上面用M3螺丝拧紧，还准备了实现闭环的STEP 。

小型AP型I被配置在实体侧面，实体安装从实体上面用M3螺丝拧紧，还准备了可实现闭环的 STEP马达。

以小型高精度重复精度高的凸轮为基础，铆钉采用无背衬机构，缓冲器具有弹簧中央缓冲器功能，可进行高精度定位，轻巧、不别扭的工作通过采用无限轨道线性导轨，实现轻快、不别扭的工作，具有良好的高速响应能力，高速定位利用步进电机和小惯性凸轮机构，定位响应速度可达0.1sec（全行程）

小而长寿命简单且不给鳍片驱动部过载的结构，因此具有出色的耐久性，是可以长期使用的高经济性对准单元。

通过无冲击动作步进的加减速控制，即使高速也能实现柔和的定位，吹气端口本体设有M5端口孔，通过吹干空气，防止异物从本体上部角孔侵入。

对齐单元X9113-C介绍

基本功能

用于精密机械/光学设备的定位校准（如半导体设备、显微镜等）。

具备高精度位移控制（微米/纳米级）或角度调整功能。

技术参数

精度：±0.1 μm 或更高（取决于应用场景）。

行程范围：线性或旋转式，具体数值需确认。

驱动方式：压电陶瓷、伺服电机或手动微调。

兼容性：可能支持标准接口（如ISO法兰、螺纹孔位）。

应用领域

半导体制造（光刻机晶圆对准）。

光学仪器（激光路径校准）。

自动化检测设备（CCD相机定位）。

特点

高刚性材料（如陶瓷或不锈钢）以减少热变形。

可选配传感器反馈（闭环控制）。

规格

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