有线 2 轴精密数字水平仪

一、有线 2 轴精密数字水平仪核心特点与优势

超高精度双轴同步测量：X/Y 轴同步检测，角度精度达 ±0.001°（约 17.5μm/m），测量分辨率 0.0002°，零点重复精度≤±0.001°，避免单轴调整的累积误差，大幅缩短校准工时。

分体式适配狭窄空间：传感器与主机分体有线连接，传感器尺寸仅 φ50×19mm、重 70g，可伸入设备狭缝等遮挡部位测量，主机通过 4.3 英寸彩色 LCD 触摸屏实时反馈数据，操作直观。

智能操作与单位灵活切换：支持 μm/m、°、°′″等单位切换，量程可在 0.01/0.001/0.0001 三档切换，可设置合格角度范围，新手也能快速完成水平调整，减少人为读数误差。

强环境适应性与稳定输出：具备电磁屏蔽与振动补偿设计，工作温度 - 10℃至 + 50℃，适配半导体无尘车间等复杂环境，响应速度≤50ms，保障实时测量稳定性。

轻便易携与供电灵活：主机重 280g，尺寸约 96×35×145mm，可通过 DC6V 专用适配器或 4 节 AA 电池供电，适配现场移动测量需求。

二、有线 2 轴精密数字水平仪主要技术参数

测量范围：X 轴与 Y 轴线性角度均为 ±0.3°，显示范围达 0.0001°，OVER 显示阈值为 0.3° 及以上。

精度与分辨率：角度精度 ±0.001°，测量分辨率 0.0002°，A/D 转换器为 14 位，A/D 分辨率 0.000025°，零点重复精度≤±0.001°。

响应与显示：响应速度≤50ms；4.3 英寸彩色 LCD 触摸屏，支持多单位切换，量程切换有 0.01/0.001/0.0001 三档，主机含 32 位微处理器。

物理规格：传感器尺寸 φ50×19mm，重 70g（基于 SVS 底座）；主机尺寸约 96×35×145mm，重 280g，采用有线连接方式。

供电与环境：主机可接 DC6V 专用 AC 适配器或 4 节 AA 电池；工作温度 - 10℃至 + 50℃，存储温度 - 20℃至 + 60℃，相对湿度≤90% RH（无结露），具备防尘与抗电磁干扰能力。

三、典型应用场景

半导体制造设备校准：适配光刻机、晶圆键合机、CMP 抛光平台等设备水平调整，控制水平度在 0.001° 级精度，保障晶圆加工质量与光刻成像效果。

精密机床与自动化产线：用于 CNC 机床工作台、导轨、机器人底座水平校准，减少加工误差，提升生产线加工精度与稳定性。

光学与精密仪器调试：适用于电子显微镜、光谱仪等光学设备的底座水平校准，保证仪器测量精度，避免微小倾斜影响检测结果。

精密仪器研发与质检：在实验室研发阶段用于设备水平参数标定，以及精密零部件生产过程中的水平度质检，保障产品一致性。

航空航天零部件检测：适配航空发动机、精密传动部件等的水平度测量，满足航空航天领域对零部件精度的严苛要求。

四、操作流程简述

准备与检查：确认传感器、主机及连接线完好，清洁传感器测量面；给主机装 4 节 AA 电池或接入 DC6V 适配器，开机后完成自检，确保设备没故障。

安装与定位：将传感器固定在 SVS 底座上，放置于被测部位，确保贴合紧密；若测量狭窄区域，通过延长线连接传感器与主机，保证信号稳定，使 X/Y 轴与测量基准方向一致。

参数设置与测量：通过触摸屏切换单位（如 μm/m、°）与量程档位，设置合格角度阈值；待读数稳定后记录数据，可连续监测并实时查看数据变化，若超阈值则及时调整。

数据处理与维护：测量结束后保存数据，关闭设备电源；清洁传感器与主机外壳，检查连接线无破损，存放于干燥通风处，定期校准以保障测量精度。

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