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简要描述:日本Atec爱泰克洁净室兼容PVPR系列PVPR20BJ-JJ 专为洁净室环境设计,适用于半导体、液晶面板、光伏、生物医药等对洁净度要求严苛的行业。利用空气力控制主球的机构减少了玻璃基板等工件的错位,正常情况下,主球滚动平稳,就像PVP系列一样。仅 PVPR20B 型能够吸走灰尘。
深圳纳加霍里科技专业代理销售日本Atec爱泰克洁净室兼容PVPR系列PVPR20BJ-JJ 产品特点如下:
日本Atec爱泰克洁净室兼容PVPR系列PVPR20BJ-JJ 专为洁净室环境设计,适用于半导体、液晶面板、光伏、生物医药等对洁净度要求严苛的行业。
利用空气力控制主球的机构减少了玻璃基板等工件的错位,正常情况下,主球滚动平稳,就像PVP系列一样。仅 PVPR20B 型能够吸走灰尘。
核心特点
1.洁净室兼容性
洁净等级:支持Class 1~100(ISO 14644),材料与结构设计减少微粒产生,避免污染敏感环境。
防静电设计:采用抗静电材料或接地措施,防止静电吸附微粒。
密封性:电机和轨道部分可能采用密闭设计,防止润滑剂挥发或颗粒脱落。
2.平面电机技术(Planeveyor核心技术)
非接触驱动:无需传统皮带或滚轮,通过电磁力直接驱动载物平台(滑块),实现零摩擦、无尘运行。
高精度定位:适合微米级定位需求的工艺(如晶圆搬运)。
模块化设计:支持多滑块独立控制,灵活配置路径(直线、曲线、分合流等)。
3.PVPR20BJ-JJ特定参数
负载能力:约20kg(型号中的“20"可能表示负载,需确认)。
速度与加速度:高速低振动,适应精密生产节奏。
重复定位精度:±0.01mm级(典型值)。
材质:铝合金或不锈钢框架,表面特殊处理(如阳极氧化)。
4.环境适应性
温度/湿度:适配洁净室恒温恒湿条件(如22±2°C,45±5%RH)。
耐化学性:可选防腐蚀涂层,抵抗清洁剂(如IPA、酒精)侵蚀。
优势
无污染:消除传统传送带的磨损碎屑。
低维护:无机械接触部件,减少维护频率。
高灵活性:通过软件调整传送路径,适应多品种生产。
典型应用
半导体晶圆传输
FPD(平板显示)面板搬运
医疗无菌生产线
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