日本MEG对齐单元

深圳纳加霍里科技专业代理销售日本MEG对齐单元X9113A-C 产品特点如下：

日本MEG对齐单元X9113A-C用于光学或机械系统的精密对齐（Alignment），常见于半导体设备、激光加工系统、高精度检测仪器等需要微米级定位的场景。

精密仪器制造商，专注于光学、电子测量设备。

小型缓冲类型主体□30mm浓缩缓冲必要的功能，紧凑节省空间，高速运行，备有带马达型号、外部驱动型号，此外，还可以选择主体安装方式和鳍片形状等

备有本体安装部形状、指状物形状、驱动方式等多种种类。

小型类型的基本机构原封不动，实体从上侧用M3螺丝能安装的模型，小型A型还备有可实现闭环控制的α STEP马达型号。

这是一种小型类型，有多年的经验，本体安装，利用本体背面的M2抽头，备有带M2螺丝5相步进马达和外部驱动的连接类型。

小型A型的基本机构是原封不动地从本体侧面拿出鳍片的模型，主体上面没有角孔，小型AP类型还准备了可实现闭环控制的α STEP马达型号，主体安装从主体上面用M3螺丝拧紧。

核心功能

高精度调整：通过精密机械结构或压电驱动实现亚微米级（可能达0.1μm以下）的位置校准。

多轴控制：可能支持X/Y/Z三轴或倾斜（θx/θy）方向的独立调整。

集成传感器：部分型号内置位移传感器或光学编码器，实时反馈位置信息。

兼容性：适配多种光学元件（透镜、反射镜）或机械组件。

应用领域

半导体制造：光刻机组件对齐。

激光加工：光束路径校准。

科研仪器：干涉仪、显微镜的样品台定位。

产品特点

刚性设计：铝合金或不锈钢材质，确保稳定性。

防震设计：减少环境振动影响。

模块化：可与其他MEG单元组合使用（如旋转台X系列）

技术参数

规格

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