KASHIYAMA干式真空泵MU-X系列 节能，省电世界！！ （※排气速度同级） 可嵌入所有制造装置 2万台以上的出货和超长期运行实绩

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KASHIYAMA快速排气15万L/min以上真空泵 SDL系列特点 晶圆、FPD的切实应对大口径化 通过组合大排气量可化。15万L/min以上满足上面的要求

KASHIYAMA大口径快速排气真空泵SD系列 晶圆、FPD的切实应对大口径化 通过组合大排气量可化。15万L/min以上满足上面的要求 高速排气 缩短节拍时间，为了确保大气侧排气速度，大型负载锁定器，快速排气推杆缩短时间。

KASHIYAMA高速排气真空泵SDL系列 晶圆、FPD的切实应对大口径化 通过组合大排气量可化。15万L/min以上满足上面的要求 高速排气 缩短节拍时间，为了确保大气侧排气速度，大型负载锁定器，快速排气推杆缩短时间。

KASHIYAMA真空泵SDL系列 晶圆、FPD的切实应对大口径化 通过组合大排气量可化。15万L/min以上满足上面的要求

KASHIYAMA省能型大排气量真空泵SDE系列 立式螺杆 特殊材料的高耐腐蚀性 以螺杆形状 节省能源 支持所有进程

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