ppm级漏氧难捕捉？东丽 LC-750L 用氧化锆技术守住高纯气体的质量底线

更新时间：2026-06-04

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在半导体制造、锂电池材料干燥及高纯气体纯化工艺中，微量氧（ppm级）的渗入往往意味着产品良率的直接下滑。常规电化学传感器易受干扰、漂移大且需频繁标定，难以满足长期在线稳定监测的需求。

日本TORAY（东丽）LC-750L系列氧化锆式氧气浓度计，专为低浓度氧（ppm级）检测开发，搭载东丽自研超小型氧化锆传感器，以能斯特（Nernst）原理实现高精度、长寿命、免频繁标定的微量氧在线分析，是高纯氮气、氩气及惰性气体保护工艺中值得信赖的过程监控方案。

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一、测量原理——氧化锆浓差电池，直读ppm级氧浓度

LC-750L内置东丽原创氧化锆陶瓷传感器（Zirconia Sensor），两侧涂覆铂电极并加热至高温工作态：

提供 0～10 / 100 / 1000 ppm / 100% O₂ 多档固定量程（按型号），测量精度 ±2%FS，重复性 ±0.5%～±1%FS，T₉₀响应时间≤5～10秒，能敏锐捕捉工艺中微量氧波动。

传感器经特殊防劣化处理，配合可选活性炭过滤器（吸附有机物）、棉质过滤器（防尘）、硅过滤器（吸附含硅气体），有效延缓传感器老化，适合复杂工业现场长期使用。

仅需开机→选择对应量程→通入样气即可显示，无需复杂参数设定；4位LED数码管直观显示浓度值，支持 4～20mA 模拟输出及 RS-232C 通信，可接入DCS/PLC实现远程监控与数据记录。

标配上限/下限两点浓度报警（无电压接点输出），氧浓度超标即时触发声光或联动切断；部分配置带传感器状态监测功能，便于预判维护时机。

行业	监测对象
半导体/平板显示	高纯N₂/Ar保护气微量氧监测、CVD/溅射腔体 purge 气验证
锂电池制造	电极涂布烘干、注液手套箱、化成静置区惰性气体残氧检测
空分/特种气体	制氮机出口、气体纯化装置下游 O₂含量在线控制
食品/医药	气调包装（MAP）顶空残氧分析、冻干工艺保护气监测
热处理/冶金	氮气保护烧结炉入口氧含量监控