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更新时间：2026-08-11 
浏览次数：13在半导体百级/千级无尘室里，机台落位微调是个“细节决定成败"的环节：
光刻机、量测机、涂胶显影机对水平极其敏感，垫纸厚一点，气浮平台回零都要多花时间；
晶圆周边静电放电（ESD）风险高，普通无尘纸没电阻指标，审计时根本拿不出数据；
洁净室严禁现场裁纸，毛边碎屑直接拉高颗粒计数。
市面上常被放在一起对比的两款 A4 片装滑纸：苏博润（ASUMARU）SB-CR16 和 KATAGI SR-A4。结合半导体前道/后道的不同需求，结论其实很清晰——
百级/千级无尘室、晶圆加工、光刻、量测机台落位微调：
✅ 苏博润 SB-CR16
发尘数据按 SEMI 标准背书，审计可直接交差
防静电数值明确，属于“缓释放"区间，保护敏感器件
超薄 0.095mm，对气浮/减震平台水平影响极小
禁止现场裁切 + 浅青单面涂层，符合洁净室管理规范
KATAGI SR-A4：
✅ 定位：无尘室通用重物微调备用
可进洁净室，适合非静电敏感机台
在“防静电+可溯源发尘数据"这两项上，文档完备度弱于 SB-CR16
更适合万级装配、封装后段或已有 KATAGI SR 体系、希望统一品牌的场景
SB-CR16 按 SEMI G67-0996 摩擦/揉搓测试：
≥0.1μm 颗粒：约 56 个/CF
≥0.3μm 颗粒：近乎零
并配 Leon KC-01A 尘埃计数器 测试报告，IQ/OQ 审计时可直接作为附件提交。
KATAGI SR-A4 资料中更多以“无粉尘油污、可直接进洁净室"做定性描述，缺少颗粒计数的量化报告，在前道审计中说服力偏弱。
SB-CR16 正反面表面电阻：
7.90×10¹⁰ ~ 8.50×10¹⁰ Ω
静电半消除时间：0.65s
属于缓释放区间，不会快速放电击伤晶圆、光刻镜头或高精度传感器，比普通无尘纸（无电阻指标）更适合晶圆周边作业。
SR-A4 虽可用于洁净室，但公开资料未强调表面电阻与静电衰减时间，对静电敏感场景的适配性不如 SB-CR16 清晰。
SB-CR16 厚度：0.095mm
两张叠放总间隙 <0.2mm
在光刻机、探针台、量测机底座落位后抽纸，对气浮/减震平台的水平回零影响极小，减少二次调平时间。
SR-A4 厚度约 0.09mm，虽接近，但在半导体前道“控厚"的需求下，SB-CR16 的公差控制更常被点名认可。
SB-CR16 为 A4 预裁、16 张/包、真空包装，开箱即用，避免洁净室裁纸产生毛边碎屑——这条在半导体厂务管理里非常被看重。
SR-A4 同样为 A4 片装真空包装，但在“禁止裁切"这一管理规范上，SB-CR16 的说明更明确、执行更统一。
仅用于安装就位微调（≤100mm），不可替代 AGV / 滚筒输送；
接触面需平整硬质，锐角底座需加垫片；
SB-CR16 单组人力推 ≤2 吨，以上需配楔形工具，最大参考 10 吨内。
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