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更新时间：2025-12-27 
浏览次数：122025年我司成功为国内半导体Feb工厂，提供了高性价比且品质优异的ESC硅胶加热装置。
在此向大家介绍一下在半导体制程中的刻蚀（ICP&CCP），化学气相沉淀等工艺中使用的静电卡盘。该产品是一种利用静电吸附原理固定晶圆的装置，该产品广泛应用于半导体制造、平板显示、LED 等领域。其次，我司定制的静电卡盘硅胶加热的本体采用高性能陶瓷材料，具有优异的导热性、绝缘性和耐腐蚀性。我们提供的日本制硅胶加热膜可以在很短的时间内实现卡盘的快速均匀升温，对客户的工艺生产起到了很好的促进作用。目前，我司已经中标了几个大型的国内半导体晶圆加热项目，并且实现了大批量静电卡盘ESC硅胶加热产品的定制化供应链管理。
纳加霍里科技（深圳）有限公司致力于为客户提供优质的半导体制程产品和工艺，包括封装的胶水和金属线，膜厚测试仪器等产品和技术。
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