琴平KTV-MV2：专为中国半导体客户研发，国内220V市电即插即用，现货可发

更新时间：2026-08-24

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随着国内半导体晶圆厂加速扩产，以及先进制程对无尘环境要求的日益严苛，高等级洁净室（ISO Class 4~5）内的微污染管控已成为决定芯片良率的关键环节。近日，日本老牌洁净设备制造商KOTOHIRA（琴平工业）面向中国半导体市场推出KTV-MV2肩背式洁净室专用吸尘器，该机型特别针对中国客户需求优化电气规格——全面兼容国内标准单相220V市电（AC 220V），无需外接变压器即可即插即用，大幅降低晶圆厂设备部署与维护门槛，正式发力中国制造无尘清洁市场。

一、直插国内220V市电——专为中国半导体客户研发

过往进口洁净吸尘器常因电压规格差异（如采用110V或120V供电），迫使国内晶圆厂额外配置调压变压器，既占用洁净室有限空间，又增加电气故障点与运维成本。

KTV-MV2专为中国半导体客户定制开发，电机驱动系统全面适配国内标准单相220V工业市电，通电即用，无需任何电压转换设备：

简化洁净车间电气布线，减少潜在发热与故障点
方便在Fab不同工艺区域（黄光区、刻蚀区、封装区）间灵活调配使用
降低设备导入验证（IQ/OQ）复杂度，加快PM（预防性维护）工具到位速度

二、ULPA四重过滤·满足ISO Class 4（10级）高等级洁净要求

在先进制程晶圆制造中，一粒0.1μm的浮尘可能导致光刻图形缺陷。KTV-MV2采用四重递进过滤结构：

一次性密封滤袋→圆顶滤袋→布质滤袋→ULPA U15终端滤芯

对0.12μm及以上微粒捕集效率≥99.999%
整机全密封结构，杜绝气溶胶泄漏与二次扬尘
出厂逐台进行气溶胶泄漏扫描检测，排气洁净度优于环境空气
适配光刻区、离子注入、CVD等前道制程无尘要求

三、全域防静电 + EMI屏蔽——守护精密工艺设备

SUS304防静电不锈钢机身，表面电阻≤10⁶Ω，配套防静电PU软管与316L不锈钢吸嘴，快速接地释放静电荷，防止静电吸附微粒或击穿晶圆器件
整机EMI/RFI电磁屏蔽设计，运行时不干扰电子束量测机、激光干涉仪、粒子计数器等周边精密仪器

四、5kg肩背便携——攻克机台内部与高空清洁盲区

传统落地式洁净吸尘器难以进入光刻机腔体、EFEM（设备前端模块）、高架地板下方等狭窄区域。

KTV-MV2整机仅重约5kg，尺寸W200×D200×H510mm，配备人体工学肩带，可深入：

光刻机投影物镜下方工件台缝隙
刻蚀腔室喷淋头与静电卡盘周边
晶圆传输轨道、FOUP装载端口
吊顶管线夹层、高架地板回风通道
标配1.8m防静电软管及超细窄缝喷嘴，实现真正的"移动式无尘清洁"

五、低噪易维保·契合Fab常态化运维节奏

运行噪音≤58dB(A)＠2m，不干扰精密检测作业
集尘耗材拆装全程密闭，更换滤袋无粉尘外露
支持间歇性长时间循环作业，适配晶圆厂24h不间断生产节奏

六、典型应用价值

半导体场景	KTV-MV2应用价值
光刻黄光区	ULPA超高效过滤+防静电，降低图形缺陷率
刻蚀/CVD腔体PM	肩背便携深入腔体死角，缩短PM停机时间
晶圆传输区/EFEM	无二次扬尘、无EMI干扰，保障传输精度
封装测试车间	220V直插灵活移动，多工位快速切换

纳加霍里服务保障

深圳纳加霍里科技依托日本直属公司供应链，省去中间环节与跨国调货周期，KOTOHIRA琴平KTV-MV1/KTV-MV2原装现货直发，并提供：

工况选型咨询与吸嘴配件适配建议；
原厂技术资料、安装使用指导；
售后维保与ULPA滤芯、密封滤袋等耗材一站式供应。

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